产品介绍

半导体EAP系统是一种针对半导体制造设备的自动化控制系统，能够实现对机台的实时监控和自动化控制。该系统在半导体制造工厂中扮演着重要的角色，提高生产效率、降低人为误差，并提高产品质量。

众里特色EAP系统，结合其他众里AI工具，可以解决EAP全厂覆盖难题，将工厂老旧机台进行改造。

特点和功能

1. 参数检核自动化：实现机台参数的自动上传、下载和比对，提高良率、作业效率和人机比，降低参数错置率和生产周期。
2. 资料采集自动化：实现生产资料、检测资料和环境资料的自动收集，提高良率、作业效率，并改善质量追溯体系，降低生产周期。
3. 设备稼动自动化：实现设备状态的自动回报，包括设备稼动汇报、物料挂载汇报和模治具挂载回报，提升数据准确性和管理强度。
4. 远端命令下达：实现设备的自动命令下达，包括设备控制模式变更和设备控制命令下达，提高良率和人际比。
5. 虚实整合：实现生产前的自动查核和生产后的自动回报，提高作业效率、人机比和自动化能力，降低生产周期。
6. 仓储搬运自动化：在物流仓储方面，实现自动调配输送带、AGV和天车进行搬运，提升物料配送、响应速度和准确性，降低生产周期。

应用痛点

尽管半导体工厂面临一些限制，无法实现全厂EAP覆盖，例如图形判断（复判、rebin）、无数据接口的老旧机台、接口数据不足、改机费用过高或设备原厂不支持、数据加密机台（例如wafer side）以及外接传感器进行设备联动等情况。